1. Kepala deteksi laser dan tahap pemindaian sampel terintegrasi, strukturnya sangat stabil, dan anti-interferensi kuat
2. Perangkat penentuan posisi probe presisi, penyesuaian perataan spot laser sangat mudah
3. Sampel drive sumbu single secara otomatis mendekati probe secara vertikal, sehingga ujung jarum tegak lurus terhadap pemindaian sampel
4. Metode pemberian jarum cerdas dari deteksi otomatis piezoelektrik keramik yang dikendalikan motorik melindungi probe dan sampel
5. Penentuan posisi optik otomatis, tidak perlu fokus, pengamatan waktu nyata dan penentuan posisi area pemindaian sampel probe
6. Metode tahan guncangan suspensi, efek tahan guncangan yang sederhana dan praktis
7. Kotak kedap suara terlindung metal, sensor suhu presisi tinggi dan sensor kelembaban, pemantauan real-time di lingkungan kerja
8. Editor Pengguna Pemindai Nonlinear Pemindai Terpadu, Karakterisasi Nanometer dan Akurasi Pengukuran Lebih Baik dari 98%
Mode operasi | mode sentuh, mode tap |
Mode opsional | Gesekan/gaya lateral, amplitudo/fase, gaya magnetik/elektrostatik |
Kurva spektrum gaya | Kurva gaya Fz, kurva RMS-Z |
Rentang pemindaian xy | 20*20um, opsional 50*50um, 100*100um |
Z rentang pemindaian | 2.5um, opsional 5um, 10um |
Resolusi Pindai | Horisontal 0,2nm, vertikal 0,05nm |
Ukuran sampel | Φ≤90mm, h≤20mm |
Contoh Perjalanan Tahap | 15*15mm |
Pengamatan optik | 4x Optical Objective Lens/2.5um Resolution |
Kecepatan pindai | 0.6Hz-30Hz |
Sudut Pindai | 0-360 ° |
Lingkungan operasi | Sistem Operasi Windows XP/7/8/10 |
Antarmuka komunikasi | USB2.0/3.0 |
Desain penyerap kejut | Kotak yang ditangguhkan/logam terlindung |